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Tergeo-EM
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PIE等離子清洗儀 Tergeo
產品詳情
Tergeo-EM是一臺集等離子清洗，蝕刻及表面處理系統于一體的實驗儀器。
技術規格
1.集等離子高速清洗和等離子無損清洗于一體的清洗模式。
2.配置等離子傳感器可實時測量等離子強度。
3.可達毫秒級短脈沖的脈沖工作模式。
4.實驗室等離子蝕刻，處理及清潔系統一體化。
5.擁有超大樣品室可成批處理樣品。石英管型號：外徑 110mm, 長：280mm，配有一個矩形石英樣品盤（100mmx250mm）可以托住成批樣品。
6.雙 TEM 樣品桿插口，可（根據客戶需求）裝配成兩種不同型號 TEM 樣品桿插口。
產品外觀
應用實例
